追蹤氣體測試 Tracer Gas Test

追蹤氣體測試系統的優點：

貝萊國際已建置自有追蹤氣體測試系統多年, 並與工研院技術合作長期配合, 測試相關半導體化學機台案件, 執行毒性 Toxic Ventilation 及防爆 Air Pattern測試報告,系統使用 1309 與氣體監測儀 1412 和控制電腦結合 PC，提供了一個提供廣泛監測功能的系統。
1309 可以在許多不同的情況和環境中執行多點監控任務，而無需更改系統組件。 多點、多氣體監測系統的範例如圖所示。在這樣的系統中，採樣器系統從房間中收集回風樣本，並將其傳送到 1412 進行分析。 當 1412 執行一次分析時，1309 從房間中取出下一個樣本進行分析。 典型的採樣系統，並附有應用範例。 使用一台 1309 最多可同時執行 12 項分析。LumaSoft 氣體多點 Innova 7850 應用軟體可控制系統的所有功能。

追蹤氣體 SF6 的優點：
經過分析比較原因，SF6是適用於測漏的理想測試氣體。例如 :  空氣中  SF6 的濃度極低，幾乎偵測不到，這表示其擁有非常小的背景。  SF6 也是惰性氣體，這表示其不會與其他物質發生反應，進而成為一種相對穩定的元素。此外 SF6也很環保：無毒、不易燃、不易爆。對人類安全也很有益，因為它是一種相對無害的物質。SF6 不會在空氣中累積，這使其易於通氣並消除了對特定暴露法規的需求。 
SF6也適合真空系統的高靈敏度洩漏測試方法，因其幾乎可以在系統的任何位置偵測洩漏。而且，SF6 氣也可協助實現高準確度的讀數 ( 5 - 6 ppb )，因其不會大量累積，也不會竄改測量。最終，SF6 在工業應用方面很有益，可以廣泛應用且價格合理。

其他追蹤氣體：
SF6 相當獨特，因為其他所有氣體都不像它提供的所有屬性這樣如此適合用來在半導體設備系統中測試。雖然也可以使用氦氣作為替代追蹤氣體。但是相較於氦氣，SF6 符合對追蹤氣體的所有需求，因為它對人類與環境都很安全、無毒不可燃、並非正常存在於空氣中 (使其易於偵測及避免污染)，且與其他氣體不同 (表示其在測試洩漏時為可測量)。
現在，SF6已變成用於工業洩漏測試之測漏儀的標準追蹤氣體。